特許

J-GLOBAL ID：200903036594700996

浸漬塗布用エッチングレジストインクと使用方法

発明者： 中山 一郎 ,  柳 平次郎 ,  中込 道次
出願人/特許権者： 三井東圧化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-258862
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104830
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】 透明な高分子成形物100、IB族の金属を主体とする酸化物を付着させた面200、主としてケイ素酸化物からなる層300からなる積層体及びその製造方法。【効果】 製造方法にて作製した積層体を用いることにより、ガスバリヤー性をアルカリ処理後でも保つことができる。

請求項（抜粋）：

アルカリ水溶液可溶なポリマーとエチレン性不飽和基を有するモノマー或いはオリゴマーと光重合開始剤を必須成分とするエッチングレジストインクにおいて、1)固形分の10〜60重量%が無機或いは有機フィラーであり、2)0.05〜20dPa・sに希釈したときの粘性挙動において、セン断応力が10倍異なる2点の粘度の比が0.8〜1.2とチクソトロピックな性質やダイラタントな性質が顕著でない、3)40〜120°Cの沸点の溶剤を少なくとも30重量%含む溶剤で任意に希釈し、粘度を0.05〜20dPa・sとするエッチングレジストインク。

IPC (5件)：

G03F 7/027 501 ,  C09D 11/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/42 620

FI (6件)：

G03F 7/027 501 ,  C09D 11/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/06 E ,  H05K 3/42 620 A