特許
J-GLOBAL ID:200903036597225342

変位測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西村 教光
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-021046
公開番号(公開出願番号):特開平11-218431
出願日: 1998年02月02日
公開日(公表日): 1999年08月10日
要約:
【要約】【課題】 被測定物の測定前に必要なセンサヘッドと被測定物との位置合わせを容易に行えること。【解決手段】 表示部には、位置合わせ時に表示画面10上にセンサヘッド1と測定光と被測定物Wの位置状態に対応した配置状態表記部11が表示される。配置状態表記部11の表示を見ながら固定のセンサヘッド1に対し被測定物Wを上下させると、画面上では被測定物Wの測定面を示す測定位置指標14が対応して上下に移動する。測定位置指標14がセンサヘッド1の測定範囲を示す測定範囲用枠体15内に表示され、かつ、ほぼこの測定位置指標14が測定範囲の中央位置となるよう被測定物Wを上下移動させることにより、センサヘッド1に対する被測定物Wの位置決めを容易に行える。
請求項(抜粋):
センサヘッド(1)から被測定物(W)の測定面に測定光を照射し、検出素子で検出された反射光の変化に基づき、前記被測定物の変位量を測定する変位測定装置において、前記センサヘッドの形状及び被測定物の位置、さらに該被測定物に対する測定光の照射状態を実際の配置位置に対応して表示する配置状態表記部(11)を備え、前記変位量に基づき前記配置状態表記部が示す前記被測定物の測定面の位置と前記センサヘッドとの表示間隔が近づきあるいは離れる方向に移動表示自在な表示部(10)を備えたことを特徴とする変位測定装置。
IPC (4件):
G01D 7/00 302 ,  G01B 11/00 ,  G01C 3/06 ,  G01D 5/30
FI (4件):
G01D 7/00 302 Q ,  G01B 11/00 B ,  G01C 3/06 A ,  G01D 5/30 J

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