特許
J-GLOBAL ID：200903036604618797
塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-274252
公開番号（公開出願番号）：特開平6-126226
出願日： 1992年10月13日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：
【要約】【目的】基板面に均一な層厚になるように塗布する。また、ブレードの摩耗によるゴミの発生が極めて少なくした。【構成】塗布液が入った容器の界面付近にバーコータを設置し、バーコータ上に送りローラを配置し、バーコータと送りローラとの間に基板を搬送することによってバーコータの回転とともに基板面にバーコータの周面に付着した塗布液を層状に塗布せしめる塗布装置において、バーコータの周長に対して10分の1以下の接触長を有するブレードをバーコータの長尺方向にわたって当接するように配置したことを特徴する。
請求項（抜粋）：
塗布液が入った容器の該塗布液の界面付近にバーコータを設置し、該バーコータ上に送りローラを配置し、バーコータと送りローラとの間に基板を搬送することによってバーコータの回転とともに基板面にバーコータの周面に付着した塗布液を層状に塗布せしめる塗布装置において、前記バーコータの周長に対して10分の1以下の接触長を有するブレードをバーコータの長尺方向にわたって当接するように配置したことを特徴する塗布装置。
IPC (2件)：
B05C 1/02 102
, B41F 17/14
