特許
J-GLOBAL ID：200903036607409927
透過型2次電子面及び電子管
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-295189
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144251
出願日： 1996年11月07日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 高い2次電子生成効率をもって2次電子増倍を行うと共に位置検出の可能な透過型光電面及び電子管を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の電子管では、気密容器12内に、光電子放出面からなる陰極18と、陰極18に対して正の電圧が保持された陽極20と、陰極18と陽極20との間に配置され、陰極20からの電子を効率よく2次電子増倍する透過型2次電子面30とが備えられ、透過型2次電子面30は多結晶ダイヤモンド薄膜32と、薄膜の剛性を補うための補強枠34とを有し、陽極20は透過型2次電子面30により陰極18から放出される2次元電子に対応して増倍された増倍2次元電子が入射することにより発光する蛍光体22を有している。この構成では、陰極18からの2次元電子の位置に対応した位置の陽極20に増倍2次元電子電子が入射するので、陰極18からの2次元電子を画像化することができる。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンド又はダイヤモンドを主成分としたものからなる薄膜と、前記薄膜の剛性を補うためにこの薄膜に取り付けられる補強手段とを有する透過型2次電子面。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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