電圧波形測定装置及び方法並びに電圧分布像測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平戸哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287417
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118888
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】電気光学素子を用いて電圧波形測定対象に非接触で電圧波形測定を行う電圧波形測定装置に関し、様々な要素のドリフトの影響を受けにくくし、かつ、接地電位を基準とした電圧波形、交流成分及び直流成分の測定を行うことができるようにする。【解決手段】電圧測定プローブ4を上下振動させ、電圧測定プローブ4内を通行してきたレーザ光12の偏光変調量を測定すると共に、参照電圧Uを変化させ、電圧測定プローブ4の上下振動に同期した偏光変調量がゼロとなる参照電圧Uをレーザ光11を照射しているタイミングの接地電位を基準とした内部配線3の電圧として測定する。

請求項（抜粋）：

電気光学素子と、前記電気光学素子に参照電圧を印加するための参照電圧印加用電極とを備える電圧測定プローブと、前記参照電圧を電圧可変に発生し、前記参照電圧を前記参照電圧印加用電極に印加する参照電圧発生手段と、前記電圧測定プローブを一定振幅で振動させる電圧測定プローブ振動手段と、前記電気光学素子に光を照射して前記電気光学素子内を通行してきた前記光の偏光状態を検出する光照射・偏光状態検出手段とを備えていることを特徴とする電圧波形測定装置。

IPC (3件)：

G01R 31/302 , G01R 19/00 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/28 L , G01R 19/00 V , H01L 21/66 C

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