基板洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：間宮武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-076523
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263389
出願日： 1994年03月22日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】基板の種類や洗浄処理の種類が変わる際に、基板表面に対する洗浄ブラシの押し込み量の設定を自動的に行なえる装置を提供する。【構成】基板Wの表面に対する洗浄ブラシ12の押し込み量を設定入力する操作部110を設け、CPU108からコントローラ106へ信号を送り、コントローラ106によってアクチュエータ104を駆動制御し、ストッパ102の位置が自動調整されるように構成する。ストッパにより、錘り載置板32、両腕てこ36及び荷重受止板30を介在させてアーム支軸20及び回動アーム16の下降位置を規制し、洗浄ブラシの押し込み量を調節する。

請求項（抜粋）：

基板を水平姿勢に保持して鉛直軸回りに回転させる基板保持・回転手段と、この基板保持・回転手段によって回転させられる基板の表面へ洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記基板保持・回転手段によって保持された基板の表面に下端が接触又は近接した状態で基板表面を洗浄する洗浄ブラシと、この洗浄ブラシを鉛直姿勢に保持するブラシ保持手段と、このブラシ保持手段を昇降させる昇降手段と、この昇降手段によって昇降させられる前記ブラシ保持手段の下降位置を規制する規制手段と、この規制手段を変位させて、前記基板保持・回転手段によって保持された基板の表面に対する前記洗浄ブラシの下端の押し込み量もしくは基板表面と洗浄ブラシ下端との隙間量を調節可能に規定する変位手段とを備えた基板洗浄装置において、前記変位手段に駆動手段を具備させるとともに、基板の表面に対する前記洗浄ブラシの下端の押し込み量もしくは基板表面と洗浄ブラシ下端との隙間量を設定入力する入力手段、及び、その入力手段による設定入力に基づいて前記変位手段の駆動手段を制御する制御手段を設けたことを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , B08B 1/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭54-098479
特開昭49-097381

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