特許

J-GLOBAL ID：200903036620795860

真空ポンプ

発明者： 内藤 喜裕
出願人/特許権者： アイシン精機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-088624
公開番号（公開出願番号）：特開2004-293466
出願日： 2003年03月27日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】より低いランニングコストで、ポンプ内部の凝縮性ガスの凝縮を防止することができる真空ポンプを提供する。【解決手段】複数のポンプ室が形成されているポンプハウジング11を有するドライポンプにおいて、第五段目ポンプ室19と第四段目ポンプ室20とに設けられるパージガス供給口40、41にパージガスを供給するためのパージガス流通管路32を、ポンプハウジング11に形成する。ドライポンプの作動時、ポンプハウジング11の温度は高くなっており、パージガス流通管路32にパージガスを流通させることでパージガスを予熱させ、ポンプ室40、41に予熱されたパージガスを供給することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

真空対象空間から吸引対象ガスを吸引する吸引口と、該吸引口に連通するポンプ室と、該ポンプ室に連通する排出口と、を備えるポンプハウジングを有する真空ポンプにおいて、 前記ポンプハウジング内の吸引対象ガスが流通する空間に、吸引対象ガスを希釈するためのパージガスを供給するパージガス供給口が設けられており、該パージガス供給口にパージガスを流通させるパージガス流通管路が、前記ポンプハウジングに形成されていることを特徴とする真空ポンプ。

IPC (3件)：

F04B37/16 ,  F04B39/00 ,  F04C25/02

FI (4件)：

F04B37/16 F ,  F04B37/16 Z ,  F04B39/00 104A ,  F04C25/02 K

Fターム (25件)：

3H003AA01 ,  3H003AB06 ,  3H003BC01 ,  3H003BF01 ,  3H003CD01 ,  3H029AA06 ,  3H029AA16 ,  3H029AB06 ,  3H029BB13 ,  3H029BB16 ,  3H029BB35 ,  3H029BB44 ,  3H029BB45 ,  3H029CC09 ,  3H029CC20 ,  3H029CC25 ,  3H076AA16 ,  3H076AA21 ,  3H076AA38 ,  3H076BB10 ,  3H076BB13 ,  3H076BB26 ,  3H076CC07 ,  3H076CC46 ,  3H076CC93

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 真空ポンプにおけるガス供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-125272   出願人：株式会社豊田自動織機