インクジェットヘッドの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-111885
公開番号（公開出願番号）：特開平8-300666
出願日： 1995年05月10日
公開日（公表日）： 1996年11月19日
要約：

【要約】【目的】容易な製作方法で、高い印字品質に要求される微細な形状のノズル有し、印字品質に優れたインクジェットヘッドの製造方法を提示すること。【構成】石英ガラス板100の表面にパターン20を形成し、第一感光性樹脂14を、パターン20が形成されていない部分に形成する。この後、紫外線ランプ30を用いて紫外線を照射して第一感光性樹脂14を硬化する。第二感光性樹脂15を略半球部62の形成された面に注入し、アクチュエータ部材5を、第二感光性樹脂15の液面上に配置する。そして、紫外線を、石英ガラス板100側から照射して、略半球部62に対応した部分の第二感光性樹脂15を硬化する。その後、紫外線が照射されずに硬化されなかった第二感光性樹脂15及びパターン20を有する石英ガラス100を除去して、ノズルが形成される。

請求項（抜粋）：

インクが噴射されるノズルと、前記ノズルに連通するインク流路を有し、インク流路内のインクに噴射のためのエネルギーを発生するアクチュエータ部材とを備えたインクジェットヘッドの製造方法において、光を透過する光透過部材上の前記インク流路に対応する位置に、光を透過しないパターンを形成する工程と、前記光透過部材の前記パターンが形成された面における、前記パターンが形成されていない部分に第一感光性材料を配置する工程と、前記第一感光性材料に光を照射して硬化させる工程と、前記光透過部材に形成された前記パターン及び前記硬化した第一感光性樹脂の上に第二感光性材料を注入する工程と、前記注入された第二感光性材料に、前記アクチュエータ部材の前記インク流路が開口した側の端面を接続させる工程と、前記光透過部材側から前記アクチュエータ部材に光を照射して、前記光透過部材及び前記硬化した第一感光性材料を介して前記第二感光性材料を硬化して、前記アクチュエータ部材と前記第二感光性材料とを接合する工程と、前記パターン及び前記第二感光性材料の前記光が照射されなかった部分を除去して前記ノズルを形成する工程とからなることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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