特許
J-GLOBAL ID：200903036624805399

ターゲット保持装置およびターゲット保持方法

発明者：
岩田 康嗣

岩田 康嗣 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-170049
公開番号（公開出願番号）：特開2008-001920
出願日： 2006年06月20日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：
【課題】ターゲットへの熱の伝播を抑止し、かつ、ターゲットホルダからターゲットへの材料の溶出を防止する。【解決手段】レーザアブレーションを行う際、レーザビームの標的試料となるターゲット12を保持するターゲット保持部2と、該ターゲット保持部2に連結され、回転移動機構によって回転または直線移動するホルダ支持部3と、を備えたターゲット保持装置1であって、前記ターゲット保持部は2、前記ターゲット12を収容する凹部2aと、前記ホルダ支持部を収容する第1の空洞部とを備え、前記ホルダ支持部3は、その内部に形成された第2の空洞部3aを備え、前記第2の空洞部3aに冷却媒体4を循環させ、前記ターゲット12を冷却するための冷却機構を備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
レーザアブレーション用の標的試料となるターゲットと、該ターゲットを固定する固定手段と、該固定手段に接続され、該ターゲットを該固定手段とともに回転せしめる回転手段と、該ターゲットを該固定手段とともに冷却する冷却手段と、 を備え、前記回転手段により該ターゲットを回転させるともに、前記冷却手段により該ターゲットを冷却することにより該ターゲット表面の高温化を抑止したことを特徴とするターゲット保持装置。
IPC (1件)：
C23C 14/28
FI (1件)：
C23C14/28
Fターム (3件)：
4K029BA35 ,  4K029CA01 ,  4K029DB20
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (10件)
  • レーザーアブレーション装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-075765   出願人：大阪瓦斯株式会社
  • スパッタリング装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-137285   出願人：松下電器産業株式会社
  • クラスター銃
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-221979   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 日立造船株式会社, 甲子園金属株式会社
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