特許

J-GLOBAL ID：200903036625036739

電流密度ベクトル推定装置および電気導電率推定装置

発明者： 炭 親良
出願人/特許権者： 炭 親良
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-106983
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222664
出願日： 2002年04月09日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】 試料内部に既に電流場が存在した場合、電流を直接的に流した場合、磁界を印加することにより渦電流を誘起した場合などにより生じる磁場ベクトルを非接触に測定し、関心空間内あるいは関心領域内の電流密度ベクトル分布を決定し、これよりその関心空間内あるいは関心領域内の導電率分布を決定すること。【解決手段】 磁気、静磁界、又は、電磁波検出素子、及び、これらのアレイ型素子群を使用した磁場ベクトル検出器などの非接触検出器で測定される試料周囲の磁場データにより記述される関心空間内あるいは関心領域内の積分方程式(ビオ・サバールの法則)を解いて電流密度ベクトル分布を決定し、電流データによって記述される一階の空間偏微分方程式を解くことによって、その関心空間内あるいは関心領域内において与えられた参照導電率に対する相対的な導電率分布を推定する。

請求項（抜粋）：

計測対象物の3次元関心空間内又は2次元関心領域内の電流密度ベクトル分布又は1次元関心領域内の電流密度分布又はそれらの時系列を推定する電流密度ベクトル推定装置において、前記計測対象物を設置する試料設置台と、磁場ベクトルを検出する磁場ベクトル検出手段と、前記磁場ベクトル検出手段が前記計測対象物を計測するように設置されるハウジングと、前記計測対象物の磁場ベクトルの分布を測定するために前記試料設置台と前記ハウジングの、少なくともどちらか一方に接続する上下左右・方向を変えることのできる走査手段と、前記磁場ベクトル検出手段を駆動し、前記計測対象を計測する前記磁場ベクトル検出手段の出力を調整する調整手段と、前記調整手段から出力される計測結果を記録するデータ記録手段と、電流密度ベクトル分布又はその時系列への離散近似あるいは有限要素近似の適用を通じて測定した磁場ベクトルデータからその電流密度ベクトル分布又はその時系列を推定するデータ処理手段と、前記計測対象物と前記磁場ベクトル検出手段との距離を調整する距離調整手段と、を備えたことを特徴とする電流密度ベクトル推定装置。

IPC (10件)：

G01R 33/035 ,  G01N 27/72 ,  G01R 19/08 ZAA ,  G01R 27/02 ,  G01R 27/26 ,  H01L 43/00 ,  H01L 43/06 ,  H01L 43/08 ,  A61B 5/05 ,  H01L 39/22

FI (16件)：

G01R 33/035 ,  G01N 27/72 ,  G01R 19/08 ZAA ,  G01R 27/02 R ,  G01R 27/26 H ,  H01L 43/00 ,  H01L 43/06 A ,  H01L 43/06 U ,  H01L 43/06 Z ,  H01L 43/08 A ,  H01L 43/08 U ,  H01L 43/08 Z ,  A61B 5/05 A ,  A61B 5/05 B ,  A61B 5/05 Z ,  H01L 39/22 D

Fターム (31件)：

2G017AD32 ,  2G017AD51 ,  2G017AD53 ,  2G017AD55 ,  2G028CG02 ,  2G028CG09 ,  2G028FK02 ,  2G028GL09 ,  2G028LR07 ,  2G035AA08 ,  2G035AA21 ,  2G035AC25 ,  2G035AD66 ,  2G053AA00 ,  2G053AB27 ,  2G053CA05 ,  2G053CA10 ,  2G053CA17 ,  2G053DB02 ,  2G053DB19 ,  4C027AA06 ,  4C027AA10 ,  4C027CC00 ,  4C027EE01 ,  4C027GG00 ,  4C027HH00 ,  4C027KK00 ,  4C027KK03 ,  4M113AA01 ,  4M113AC06 ,  4M113AC46