特許
J-GLOBAL ID：200903036625283639
成膜装置及びそれを用いた複数の物質からなる 膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-101198
公開番号（公開出願番号）：特開平6-306588
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：
【要約】【目的】 所望の特性を有する「複数の物質からなる膜」を再現性よく得る。【構成】 真空容器10と、容器内を所定の圧力に設定するための排気手段17と、プラズマを生成して容器の内部に導入するプラズマ生成手段1と、容器内に設置された基板6を保持する基板保持手段7および成膜する膜を形成する複数の膜形成物質A、Bを支持する形成物質支持手段5、2と、膜形成物質のうちの1つの物質Bと真空空間に導入されたプラズマ4との距離を調整する移動手段5とで成膜装置を構成し、この装置で複数の物質からなる膜を製造した。
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板保持手段、成膜する膜を形成する複数の膜形成物質を支持する形成物質支持手段、前記基板保持手段と形成物質支持手段を収納し成膜が行われる空間を形成する真空容器、該真空容器の内部を所定の圧力に設定する排気手段、プラズマを生成して該プラズマを前記真空容器の内部に導入するプラズマ生成手段、および前記複数の膜形成物質のうち少なくとも1つの物質と前記プラズマとの間隔を任意の値に調整する移動手段を有することを特徴とする成膜装置。
IPC (2件)：
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