特許
J-GLOBAL ID：200903036626121446
電子写真用光受容部材用堆積膜形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-346302
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196416
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【構成】 少なくとも同心円上に配置された複数本の堆積膜形成用の基体を同時に保持する機能および真空を維持する機能を持った保持部材を真空雰囲気で搬送する形態の電子写真用光受容部材用堆積膜形成装置で、堆積膜形成後の保持部材をClF3 を用いたドライエッチングにより再生する手段を備えた堆積膜形成装置。【効果】 従来の液体ホーニング、ウェットエッチング等による再生を行なう装置に比べ、画像欠陥の少ない電子写真用光受容部材を安定に、効率良く生産することができる。
請求項（抜粋）：
真空容器との密着構造および少なくとも同心円上に配置された複数本の堆積膜形成用基体の同時保持構造を有する保持部材ならびに該保持部材の真空雰囲気での搬送手段を有する、非晶質材料で構成された電子写真用光受容部材用堆積膜形成装置において、(a)成膜後の該保持部材の再生容器を有し、(b)該再生容器が該保持部材に各種部品が装着されたままで再生可能な構造であり、さらに(c)該再生容器がClF3 ガスによるドライエッチングの手段を有することを特徴とする堆積膜形成装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, G03G 5/00 101
, H01L 31/08
