特許

J-GLOBAL ID：200903036627575190

圧電/電歪膜型素子

発明者： 武内 幸久 ,  木村 浩二
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 石田 喜樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-075414
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260694
出願日： 1993年03月08日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】圧電/電歪膜の端部と下部電極膜の端部との精密な位置合わせを必要とせず、上下電極間の短絡防止を容易にし、生産性を向上させることと、短絡防止手段による効果を充分活かすために、圧電/電歪膜の張り出し部とセラミック基板との結合による影響を除去すること。【構成】下部電極膜4上の圧電/電歪膜5を、下部電極膜を覆い、且つ端部がセラミック基板3上へ張り出す大きさとし、この張り出し部11を前記セラミック基板3と不完全結合状態とした。

請求項（抜粋）：

薄肉のセラミック基板と、その基板上に形成され、下部電極膜及び圧電/電歪膜及び上部電極膜を順次積層形成してなる圧電/電歪作動部とを備えた圧電/電歪膜型素子において、前記下部電極膜上の圧電/電歪膜を、下部電極膜を覆い、且つ端部が前記セラミック基板上へ張り出す大きさとしたことを特徴とする圧電/電歪膜型素子。

IPC (2件)：

H01L 41/08 ,  B06B 1/06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公昭33-001538
  
• 特開昭55-053613