特許

J-GLOBAL ID：200903036636741221

蒸着装置

発明者： 根岸 敏夫 ,  長沢 孝揮
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-041175
公開番号（公開出願番号）：特開平11-222668
出願日： 1998年02月06日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】長時間の連続運転が可能な蒸着装置を提供する。【解決手段】真空槽内に配置する蒸着源31〜34を回転昇降台7に設ける。加熱機構5内に配置された蒸着源31の蒸着材料が消費されたら、回転昇降台7を昇降及び回転させ、加熱機構5内の蒸着源31を他の蒸着源32〜34と交換する。真空槽10、11内の真空雰囲気を維持したまま、蒸着源の交換が行えるので、蒸着装置1の長時間連続運転が可能になる。消費量の少ない蒸着材料を、回転昇降台7以外の場所に固定した蒸着源41、42内に配置しておいてもよい。

請求項（抜粋）：

内部を真空雰囲気にできる真空槽と、前記真空槽内に設けられ、前記真空雰囲気を維持したまま昇降と回転が可能に構成された回転昇降台と、前記回転昇降台に設けられた複数の蒸着源と、前記複数の蒸着源のうちの所定場所に位置する蒸着源を収容し、加熱する加熱機構とを有し、前記回転昇降台の昇降と回転により、前記加熱機構で加熱される蒸着源を交換できるように構成されたことを特徴とする蒸着装置。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/26

FI (3件)：

C23C 14/24 C ,  C23C 14/24 D ,  C23C 14/26 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平3-173767
  
• 特開平4-323362
  
• 特開平1-222045
  
• 特開昭57-158374
  

審査官引用 (4件)

• 特開平3-173767
  
• 特開平4-323362
  
• 特開平3-173767
  
• 特開平4-323362