特許
J-GLOBAL ID：200903036641803618
半導体製造設備用転がり軸受
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江原 省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-013735
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229426
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年08月16日
要約：
【要約】【目的】 低発塵性が比較的良好で、かつ、耐久性に優れた転がり軸受を提供する。【構成】 この軸受は、内輪1、外輪2、内・外輪1、2間に介在する複数のボール3、ボール3を円周等間隔に保持する保持器4、および、外輪2の両端内径部に装着された例えばSUS304製のシールド板5といった軸受部品で構成される。そして、内・外輪1、2の転走面およびボール3の表面には、PTFE例えば平均分子量が5000以下のPTFEの潤滑被膜1a、2a、3aが形成され、軸受内にはフッ素系の真空グリース6が封入されている。
請求項（抜粋）：
転がり軸受を構成する部品のうち少なくとも転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる表面にポリテトラフルオロエチレンからなる潤滑被膜を形成し、かつ、該軸受内にフッ素系の真空グリースを封入したことを特徴とする半導体製造設備用転がり軸受。
IPC (5件)：
F16C 33/66
, B32B 15/08
, F16C 33/32
, F16C 33/34
, F16C 33/62
