特許
J-GLOBAL ID：200903036645404157
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-284718
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146013
出願日： 1994年11月18日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】カンチレバー交換時の着脱性、取り付け位置の微調整を容易にし、走査型プローブ顕微鏡の測定性能を劣化させないように、常に正常な探針による測定を提供する。【構成】先端に探針5bを保持したカンチレバー支持体5cを、両端を板バネ11に固着されたワイヤ11aによりカンチレバーホルダ部5aにバネ力により押圧保持する。
請求項（抜粋）：
試料とこれに対向配置した探針とを近接させ、探針又は試料を走査することにより、探針と試料表面との間の相互作用により生じる物理量を検出して試料表面の形状を原子レベルの分解能で測定する走査型プローブ顕微鏡において、先端に探針を保持した探針支持体を、両端を弾性体に保持されたワイヤ状部材によりホルダに押圧保持するようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
