特許
J-GLOBAL ID：200903036646544149
サーボ型速度・変位センサ
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-237001
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079900
出願日： 1995年09月14日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 速度と変位とが直接出力され、軽量小型かつ丈夫で、低周波でも作動するサーボ型速度・変位センサを提供する。【解決手段】 振動する対象物にセンサ本体1を設置し、このセンサ本体1に支持バネ2を介して重り3を振動自在に支持させると共にこの重りの相対変位を検知する検知器4を取り付け、この重り3の振動を抑制するための電磁アクチュエータ5を設けると共に、上記変位信号を微分した速度信号と上記変位信号とを上記電磁アクチュエータに帰還するサーボ回路11を構成し、上記重り3の振動をサーボ制御しているときの上記速度信号及び上記変位信号を対象物の検出速度及び検出変位として出力するようにした。
請求項（抜粋）：
振動する対象物にセンサ本体を設置し、このセンサ本体に支持バネを介して重りを振動自在に支持させると共にこの重りの相対変位を検知する検知器を取り付け、この重りの振動を抑制するための電磁アクチュエータを設けると共に、上記変位信号を微分した速度信号と上記変位信号とを上記電磁アクチュエータに帰還するサーボ回路を構成し、上記重りの振動をサーボ制御しているときの上記速度信号及び上記変位信号を対象物の検出速度及び検出変位として出力するようにしたことを特徴とするサーボ型速度・変位センサ。
IPC (5件)：
G01H 11/00
, G01B 21/00
, G01H 1/00
, G01P 3/42
, G01P 15/02
G01H 11/00
, G01B 21/00 A
, G01H 1/00 B
, G01P 3/42 D
, G01P 15/02 A
