研磨装置のキャリア

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塚原孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-225674
公開番号（公開出願番号）：特開2000-052241
出願日： 1998年08月10日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：

【要約】【課題】長期間の使用とワークピースの飛び出し防止とを可能にし、しかも研磨作業時におけるワークピースの損傷を防止可能なワークピース保持リングを有した研磨装置のキャリアを提供する。【解決手段】キャリア1を、ウエハWをその下面で下定盤上に押圧しながら回転可能なキャリア本体2と、キャリア本体2の下面の外周部に設けられ且つウエハWを外側から囲んで保持するリテーナリング3とで構成した。そして、リテーナリング3を、エポキシグラス,ポリフェニレンサルファイド,ポリエチレンテレフタレート,ウレタン,ジュラコン,ポリエーテルエーテルケトン,ナイロン,ポリイミド,メラミン,及びフェノール等、接触時にウエハWをほとんど損傷させない軟質性素材で形成した内周リング部30と、ジルコニアセラミックス,アルミナセラミックス,及びチタン等、下定盤との接触時に生じる摩耗量が極めて少ない耐摩耗性素材で形成した外周リング部31とで構成した。

請求項（抜粋）：

ワークピースをその下面で定盤上に押圧しながら回転可能なキャリア本体と、このキャリア本体の上記下面の外周部に設けられ且つ上記ワークピースを囲んでこのワークピースを外側から保持するためのワークピース保持リングとを具備する研磨装置のキャリアにおいて、上記ワークピースと接触する上記ワークピース保持リングの内周部分を、接触時にワークピースをほとんど損傷させない軟質性素材で形成し、上記ワークピース保持リングおける上記定盤との接触部分を、定盤との接触時に生じる摩耗量が極めて少ない耐摩耗性素材で形成した、ことを特徴とする研磨装置のキャリア。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 E , H01L 21/304 622 G

Fターム (5件)：

3C058AA07 , 3C058AB04 , 3C058CB02 , 3C058DA06 , 3C058DA17

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