X線分析装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：田中隆秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-073267
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271454
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】シールドカバーが開放位置に有るときには、自動的にX線シャッタの開放を完全に不可能にすること。【構成】シールドカバー13を前記閉塞位置に保持する閉塞保持位置と前記シールドカバー13の移動を許容する移動許容位置との間で移動可能なロック部材79と、X線照射路57に設けられて、前記ロック部材79を前記閉塞保持位置に保持するロック位置と前記移動許容位置に保持するアンロック位置との間で移動可能な操作レバー85と、前記操作レバー85の前記ロック位置への移動に連動してX線ビームの通過を許可する連通位置からX線ビームの通過を遮断する遮断位置へ移動するX線シャッタ61と、シールドカバー13が閉塞位置に有るときは、前記ロック部材79の移動を許容し、シールドカバー13が開放位置に有るときは前記ロック部材79の移動を阻止する移動制御部材72とを備えたX線分析装置。

請求項（抜粋）：

下記の要件を備えたことを特徴とするX線分析装置、(Y01)上面に試料テーブルを支持するテーブル支持基板、(Y02)前記試料テーブルを密封して真空試料室を形成する閉塞位置と前記試料テーブルを大気に開放する開放位置との間で移動可能なX線シールド機能を有するシールドカバー、(Y03)前記シールドカバーを前記閉塞位置に保持する閉塞保持位置と前記シールドカバーの移動を許容する移動許容位置との間で移動可能なロック部材、(Y04)前記真空試料室内の試料に照射するX線を発生するX線管、(Y05)X線管から出射したX線ビームを前記真空試料室内の試料に照射させるX線照射路、(Y06)前記X線照射路に設けられて、X線ビームの通過を遮断する遮断位置とX線ビームの通過を許可する連通位置との間で移動可能なX線シャッタ、(Y07)前記試料テーブルに支持された試料にX線ビームが照射されたときに前記試料から放出される2次放出線を検出する検出器、(Y08)前記ロック部材を前記閉塞保持位置に保持するロック位置と前記移動許容位置に保持するアンロック位置との間で移動可能な操作レバー、(Y09)前記操作レバーの前記ロック位置への移動に連動して前記X線シャッタを開放位置に移動させるとともに操作レバーのアンロック位置への移動に連動してX線シャッタを前記遮断位置に移動させるシャッタ連動機構、(Y010)前記シールドカバーに一体的に設けられて、前記シールドカバーが閉塞位置に有るときは、前記ロック部材の移動を許容し、シールドカバーが開放位置に有るときは前記ロック部材の移動を阻止する移動制御部材。

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