非安定電源を電源とする給液装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-114415
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280179
出願日： 1996年04月12日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】非安定電源の低出力時でもポンプ1台で給液できる、高効率な給液装置を提供する。【解決手段】非安定電源12を電源とするポンプ5と、第1の液体搬送経路1と、第2の液体搬送経路2と、前記液体吐き出し口より下部で、かつポンプより上部に設けられた貯液手段6と、第3の液体搬送経路3と、第4の液体搬送経路4と、第1および第4の液体搬送経路の分岐点と前記液体取り入れ口の間に設けられ第1の液体搬送経路8を開閉する第1の開閉手段8と、第2および第3の液体搬送経路の分岐点と液体吐き出し口の間に設けられ第2の液体搬送経路を開閉する第2の開閉手段9と、第3の液体搬送経路を開閉する第3の開閉手段10と、第4の液体搬送経路を開閉する第4の開閉手段11と、少なくとも前記第2〜4の開閉手段を、前記非安定電源からの供給電力に応じて開閉制御する開閉制御手段13とを設ける。

請求項（抜粋）：

非安定電源を電源とし、ポンプにより液体を搬送する給液装置において、液体取り入れ口からポンプへ液体を搬送する第1の液体搬送経路と、ポンプから液体吐き出し口へ液体を搬送する第2の液体搬送経路と、前記液体吐き出し口より下部で、かつポンプより上部に設けられた貯液手段と、第2の液体搬送経路の途中から分岐して前記貯液手段に液体を搬送する第3の液体搬送経路と、前記貯液手段から前記第1の液体搬送経路の途中に接続された第4の液体搬送経路と、第1および第4の液体搬送経路の分岐点と前記液体取り入れ口の間に設けられ第1の液体搬送経路を開閉する第1の開閉手段と、第2および第3の液体搬送経路の分岐点と液体吐き出し口の間に設けられ第2の液体搬送経路を開閉する第2の開閉手段と、第3の液体搬送経路を開閉する第3の開閉手段と、第4の液体搬送経路を開閉する第4の開閉手段と、少なくとも前記第2〜4の開閉手段を、前記非安定電源からの供給電力に応じて開閉制御する開閉制御手段とを具備することを特徴とする給液装置。

IPC (4件)：

F04B 49/06 311 , F04D 13/16 , G05D 7/06 , H01L 31/04

FI (4件)：

F04B 49/06 311 , F04D 13/16 F , G05D 7/06 Z , H01L 31/04 Q

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-270426
特開昭57-153531

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