特許
J-GLOBAL ID：200903036666832914
膜特性評価方法・装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-066421
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261682
出願日： 1997年03月19日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】絶縁膜の厚さ方向の膜質分布を時間をかけずに正確に評価すること。【解決手段】試料として、基板12の表面に膜厚が一方向に沿って増大した絶縁膜13が形成されたものを使用する。赤外光2の絶縁膜13に対する照射位置を周期に変動させながら、FT-IR装置にて分光する。このとき、光検出器16の出力信号のうち、赤外光が照射された位置における絶縁膜13の膜厚の周期的変動に対応した信号成分をロックインアンプ19により増幅し、この増幅された信号成分に基づいて絶縁膜13の赤外光の吸収量の周波数依存性を求める。このような分光を絶縁膜13を上記一方向に移動させて逐次行なうことによって、絶縁膜13の厚さ方向の膜質分布を評価する。
請求項（抜粋）：
一方向に沿って膜厚が変化する被評価膜を用意し、前記一方向とは異なる方向から前記被評価膜に光を照射するとともに、前記光の前記被評価膜に対する照射位置を周期的に変動させながら、前記被評価膜の前記光の吸収スペクトルを求める第1の工程と、前記被評価膜を前記一方向に沿って移動させ、前記第1の工程に戻る第2の工程とを有し、前記第1の工程において、前記被評価膜に照射された前記光の透過光または反射光を光検出手段により検出し、この光検出検出手段の出力信号のうち、前記被評価膜の膜厚の周期的変動に対応した信号成分を増幅手段により増幅し、この増幅された信号成分に基づいて前記被評価膜の前記光の吸収スペクトルの膜厚方向依存性を求めることを特徴とする膜特性評価方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01N 21/27
, G01N 21/35
H01L 21/66 Q
, G01N 21/27 B
, G01N 21/35 Z
