特許
J-GLOBAL ID：200903036670006999
リード検査方法及びリード検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-031619
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222314
出願日： 1996年02月20日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】 検査精度が良く、構成がシンプルで、位置決め不良やリードカット面にバラつきがあっても精度良く検査出来るリード検査方法及びリード検査装置を提供する。【解決手段】 相対するリード列2a或いは2bを斜め方向から見た二つの画像を、例えばプリズム4a,4b、反射鏡16a,16b等の光軸屈曲手段を使用して同じ方向に向け、単一のカメラ3の画面に送り込む。これで本来は別々の画像になる筈の斜め方向からの各リード列の画像が、同じ一つの画面に集合する、即ち単一の画像になる。リードの画像が鮮明に捉えられ、且つ検査精度が大幅に向上する。
請求項（抜粋）：
パッケージの複数の辺から延出されている検査対象リードの画像を解析し、その延出状態を検査するリード検査方法に於て、前記各辺の検査対象リードに対応して配置された複数の光軸屈曲手段を介して前記夫々の検査対象リードを斜めから見た夫々の画像を単一の撮像手段に集合させ、前記解析の為の単一画像を形成することを特徴とするリード検査方法。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, H01L 21/66
, H01L 23/50
, H05K 13/08
G01B 11/24 M
, H01L 21/66 J
, H01L 23/50 C
, H05K 13/08 K
