特許

J-GLOBAL ID：200903036671898230

荷電粒子線装置用試料保持装置

発明者： 鈴木俊明 ,  佐藤泰彦
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-103150
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291483
出願日： 2000年04月05日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】FIB、TEM、SEMなどの荷電粒子線装置の間で試料カートリッジをやりとりしても容易にその試料の加工部位あるいは観察部位を見い出すことができ、しかも、前記荷電粒子線装置の試料ホルダーから試料カートリッジを取り外して保管する場合にも、試料カートリッジの保管ケースに試料の情報を全く書き記す必要のない荷電粒子線装置用試料保持装置を提供する。【解決手段】試料を保持する保持部、試料に関するデータを記憶する記憶手段、及び該記憶手段に記憶された記憶内容の読み出しや書き換えを外部CPUから随時行なうための外部接続用端子を備えた試料カートリッジと、該試料カートリッジを着脱可能に保持しつつ、該試料カートリッジの外部接続用端子を介して得られる前記記憶手段の記憶内容を外部CPUに伝達すると共に、外部CPUから送られてくるデータを該試料カートリッジの外部接続用端子を介して該試料カートリッジの記憶手段に伝達する試料ホルダーとを備えた。

請求項（抜粋）：

試料を保持する保持部、試料に関するデータを記憶する記憶手段、及び該記憶手段に記憶された記憶内容の読み出しや書き換えを外部CPUから随時行なうための外部接続用端子を備えた試料カートリッジと、該試料カートリッジを着脱可能に保持しつつ、該試料カートリッジの外部接続用端子を介して得られる前記記憶手段の記憶内容を外部CPUに伝達すると共に、外部CPUから送られてくるデータを該試料カートリッジの外部接続用端子を介して該試料カートリッジの記憶手段に伝達する試料ホルダーとを備えたことを特徴とする荷電粒子線装置用試料保持装置。

IPC (4件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  G01N 23/225

FI (5件)：

H01J 37/20 A ,  G01N 1/32 B ,  G01N 23/225 ,  G01N 1/28 W ,  G01N 1/28 G

Fターム (20件)：

2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001BA06 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001CA05 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA09 ,  2G001JA11 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA01 ,  2G001PA02 ,  2G001QA01 ,  5C001AA01 ,  5C001CC01 ,  5C001CC04