特許
J-GLOBAL ID：200903036672953375
1軸角速度/加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271797
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128355
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 機構的に極く簡素でありながら、小型、軽量、安価、長寿命、高信頼性を示す1軸角速度/加速度センサを提供する。【構成】 2本のビーム42およびビーム42’より成る音叉を構成する水晶薄板40を両側から2枚の水晶板50および水晶板60により僅かの間隙を保持して挟み込み、2本のビーム42およびビーム42’が1軸角速度/加速度により変位する量を検出する検出電極33、43、51、61および33’、43’、51’、61’を2本のビーム42およびビーム42’および両側の2枚の水晶板50および水晶板60に形成した屈曲式音叉型水晶振動子を使用した1軸角速度/加速度センサ。
請求項（抜粋）：
2本のビームより成る音叉を構成する水晶薄板をその両側から2枚の水晶板により挟み込み、2本のビームが1軸角速度/加速度により変位する量を検出する検出電極を2本のビームおよび両側の2枚の水晶板に形成した屈曲式音叉型水晶振動子を具備することを特徴とする1軸角速度/加速度センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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