特許

J-GLOBAL ID：200903036685915103

セラミック部材の製造方法

発明者： 武内 幸久 ,  七瀧 努 ,  山本 久則
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-190143
公開番号（公開出願番号）：特開平10-138226
出願日： 1997年07月15日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 クラックの発生や微細貫通孔の位置精度の低下が生じないセラミック部材の製造方法の提供。【解決手段】 薄肉板用グリーンシート7の引っ張り強度σが10kgf/cm2 以上、200kgf/cm2 以下であり、薄肉板用グリーンシート7の破断時の伸び量Δl(mm)、破断時のテンションT(kgf)及び断面積S(mm2 )より式、Δl・S/Tで表される伸び率が、0.5mm3 /kgf以上、25.0mm3 /kgf以下であり、かつ、薄肉板用グリーンシート7と剛性板用グリーンシート9の焼結途上温度T50の差の絶対値が50°C以下、焼成収縮率Fの差の絶対値が1.5%以下であり、パンチングにより複数の微細貫通孔1を形成した薄肉板用グリーンシート7を、剛性板用グリーンシート9に積層して一体積層物とした上で焼成する。

請求項（抜粋）：

複数の微細貫通孔を有する薄肉板を、該微細貫通孔を形成した部分の少なくとも両側において、一体焼成で形成した剛性板にて支持して成り、且つ孔径の最小値が150μm以下、薄肉板の厚さが100μm以下、孔間隔の最小値が150μm以下であるセラミック部材の製造方法であって、薄肉板用グリーンシートの引っ張り強度σが10kgf/cm2 以上、200kgf/cm2 以下であり、該薄肉板用グリーンシートの破断時の伸び量Δl(mm)、破断時のテンションT(kgf)及び断面積S(mm2 )より式、Δl・S/Tで表される伸び率が、0.5mm3 /kgf以上、25.0mm3 /kgf以下であり、かつ、該薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼結途上温度T50の差の絶対値が50°C以下、焼成収縮率Fの差の絶対値が1.5%以下であり、パンチングにより複数の微細貫通孔を形成した該薄肉板用グリーンシートを、該剛性板用グリーンシートに積層して一体積層物とした上で焼成することを特徴とするセラミック部材の製造方法。

IPC (5件)：

B28B 11/00 ,  B26F 1/14 ,  C04B 35/48 ,  C04B 35/64 ,  B28B 1/30 101

FI (5件)：

B28B 11/00 Z ,  B26F 1/14 A ,  B28B 1/30 101 ,  C04B 35/48 Z ,  C04B 35/64 L