特許

J-GLOBAL ID：200903036686750361

シリコン結晶中不純物の赤外吸収測定方法

発明者： 竹下 真理子 ,  堀江 浩
出願人/特許権者： 九州電子金属株式会社 ,  住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 森 正澄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-068102
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273122
出願日： 1992年03月26日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】 不純物を含むシリコン結晶と、不純物を含まないシリコン結晶との双方の表面状態の影響をなくし、不純物のみの正確な赤外吸収スペクトルを得る。【構成】 シリコン結晶中の不純物濃度を赤外吸収装置を用いて測定するシリコン結晶中不純物の赤外吸収測定方法において、測定前に、不純物を含むシリコン結晶と、標準試料である不純物を含まないシリコン結晶とを、同一薬液により洗浄して双方のシリコン結晶の表面状態を同一にするシリコン結晶中不純物の赤外吸収測定方法。

請求項（抜粋）：

シリコン結晶中の不純物濃度を赤外吸収装置を用いて測定するシリコン結晶中不純物の赤外吸収測定方法において、測定前に、不純物を含むシリコン結晶と、標準試料である不純物を含まないシリコン結晶とを、同一薬液により洗浄して双方のシリコン結晶の表面状態を同一にすることを特徴とするシリコン結晶中不純物の赤外吸収測定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/35 ,  G01N 21/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表平1-503201
  
• ユニット構造車椅子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-346315   出願人：日進医療器株式会社