特許

J-GLOBAL ID：200903036687411501

エッチング液およびエッチング方法

発明者： 板野 充司 ,  金村 崇 ,  中村 新吾 ,  毛塚 健彦 ,  上谷 文宏
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (7件)： 三枝 英二 ,  掛樋 悠路 ,  小原 健志 ,  斎藤 健治 ,  藤井 淳 ,  関 仁士 ,  中野 睦子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-126107
公開番号（公開出願番号）：特開2006-059831
出願日： 2003年05月01日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：

【課題】反射防止膜とレジストを同時に除去する。【解決手段】少なくとも1種の有機酸を含む、レジストと有機系反射防止膜、および/または有機系埋め込み材を除去するためのエッチング液。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

少なくとも1種の有機酸を含む、レジストと有機系反射防止膜、および/または有機系埋め込み材を除去するためのエッチング液。

IPC (2件)：

H01L 21/306 ,  H01L 21/321

FI (2件)：

H01L21/306 D ,  H01L21/88 C

Fターム (28件)：

5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH32 ,  5F033MM02 ,  5F033QQ04 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ20 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ91 ,  5F033QQ92 ,  5F033QQ96 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033VV10 ,  5F033WW00 ,  5F033XX21 ,  5F033XX24 ,  5F043AA37 ,  5F043BB25 ,  5F043CC16 ,  5F043DD15 ,  5F043GG04 ,  5F043GG10