特許
J-GLOBAL ID：200903036692969545
マグネトロン型スパッタカソード
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-176992
公開番号（公開出願番号）：特開平7-034244
出願日： 1993年07月16日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】【目的】 効率よく放電インピーダンスを下げたマグネトロン型スパッタカソードを提供する。【構成】 矩形状のターゲットの中央部近傍に磁気発生手段を配置するとともに、前記磁気発生手段の外周部にも環状に磁気発生手段を設ける。そして、外周部の磁気発生手段のコーナ部を略馬蹄形にする。
請求項（抜粋）：
矩形状を有したターゲットの中央部近傍に配置した磁気発生手段と、前記磁気発生手段より離間した外周部に配設した磁気発生手段を用いて閉じた漏洩磁界分布を得るようにしたマグネトロン型スパッタカソードにおいて、前記外周部に配設した磁気発生手段のコーナ部形状を略馬蹄形にしたことを特徴とするマグネトロン型スパッタカソード。
IPC (2件)：
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