特許
J-GLOBAL ID：200903036694642012
カンチレバーセンサ型分析システムとその製造方法並びにこれを利用した物質感知方法、極微細物質感知方法、生体物質感知方法及び液体の粘度と密度測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
笹島 富二雄
, 西山 春之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-110720
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156526
出願日： 2004年04月05日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】小型化が可能であるだけでなく、空気中はもちろんで液体中でも微細物質を感知することで、連続的に反応量を感知し得るカンチレバーセンサ型分析システムを提供しようとする。【解決手段】反応物を注入するための各流入口111a、111b及びそれら流入口111a、111bと反応チャンバ115とを連結する各流入チャンネル112a、112b、114が形成された微少流体伝達システム100と、一端が基板210に固定されたカンチレバー220、該カンチレバー220の上下面の中の少なくとも何れか一面に積層され、圧電膜232と該圧電膜232の下面に形成された下部電極233と圧電膜232の上面に形成された上部電極231とから構成された駆動膜230並びに該下部電極233及び該上部電極231に電気を加える電気パッド240を備え、前記反応チャンバ115に設置されたカンチレバーセンサ200と、を具備したカンチレバーセンサ型分析システムを構成した。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
反応物を注入するための流入口及び該流入口と反応チャンバとを連結する流入チャンネルが形成された微少流体伝達システムと、
一端が基板に固定されたカンチレバー、該カンチレバーの上下面のうちの少なくとも何れか一面に積層され、圧電膜と該圧電膜の下面に形成された下部電極と前記圧電膜の上面に形成された上部電極とを備えて構成された駆動膜並びに前記下部電極及び前記上部電極に電気を加える電気パッドを包含し、前記反応チャンバに設置されたカンチレバーセンサと、
を具備して構成されることを特徴とするカンチレバーセンサ型分析システム。
IPC (6件)：
G01N5/02
, B81B3/00
, B81C5/00
, G01N33/53
, G01N33/566
, G01N37/00
G01N5/02 A
, B81B3/00
, B81C5/00
, G01N33/53 D
, G01N33/53 M
, G01N33/566
, G01N37/00 101
