特許
J-GLOBAL ID：200903036698568372
金属イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-133841
公開番号（公開出願番号）：特開平6-325713
出願日： 1993年05月11日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 ア-ク放電によるイオン源は、イオン源チャンバ1がアノ-ド電位、フィラメントがカソ-ド電位であって、両者の間でア-ク放電を起こし原料気体をプラズマにしている。金属イオン源は金属を蒸気にしてこれを放電で電離してプラズマとする。高温状態を維持するために、金属板を重ねた輻射シ-ルドをイオン源チャンバ1内部に設ける。チャンバに接する輻射シ-ルドはアノ-ド電位であり、上蓋側、電極側の輻射シ-ルドはカソ-ド電位である。輻射シ-ルドが接触すると電源が短絡し放電が停止しイオンビ-ムの引き出しが止まる。これを解決する。【構成】 イオン源チャンバ1はアノ-ド電位ではなく、カソ-ド電位とする。そしてアノ-ドロッドを別に設け、アノ-ドロッドとフィラメントの間でア-ク放電を起こすようにする。
請求項（抜粋）：
上蓋と円筒とよりなり一方の開口したイオン源チャンバ1と、金属材料を加熱してイオン源チャンバ1に供給する蒸発源4と、イオン源チャンバ1の内部に設けられカソ-ド電位に保たれ発熱するカソ-ドフィラメント2と、イオン源チャンバ1の内部に設けられアノ-ド電位に保たれ発熱するアノ-ドフィラメント3と、イオン源チャンバ1の内部に設けられアノ-ド電位に保たれカソ-ドフィラメントとの間にア-ク放電を起こすためのアノ-ドロッド19と、イオン源チャンバ1の内側周面に設けられる金属の薄板よりなる側面輻射シ-ルド8と、イオン源チャンバ1の上蓋側の内面にもうけられ金属の薄板よりなる上蓋輻射シ-ルド9と、イオン源チャンバ1の開口側に設けられ金属の薄板よりなる電極輻射シ-ルド10と、イオン源チャンバ1の開口側にもうけられイオン源チャンバ1と同電位にバイアスされるプラズマ電極13と、負電圧にバイアスされる引出電極14と、接地電位にバイアスされる接地電極15とよりなり、側面輻射シ-ルド8、上蓋輻射シ-ルド9、電極輻射シ-ルド10が同電位になるようにしたことを特徴とする金属イオン源。
IPC (2件)：
引用特許：
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