特許
J-GLOBAL ID：200903036702170362
ディスク状基板用支持具
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山田 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-101618
公開番号（公開出願番号）：特開平6-306621
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：
【要約】【目的】 磁気ディスク用基板メッキ治具に関し、基板と溝側面の接触部分を極力少なくすることにより、ディスク穴の内周端縁部へのメッキ液等の流入性及び排出性を高め、ガスピット欠陥,ノジュール欠陥等を抑制し、膜厚の均一化を図ると共に、また溝側面の表面粗さを最適化することにより傷による表面欠陥を抑制すること。【構成】 磁気ディスク用基板メッキ治具10はピーク材により切削加工された支持軸2とその一端の取付部3とからなり、支持軸2はその周面に複数輪の環状溝12を有している。この環状溝12の溝壁部は周方向に8個の突起14を配列してなる突起環状列である。隣接する環状溝12,12は突起14を区画する溝連結空隙16により連通されている。また環状溝12の側面はバフ研磨により表面粗さRa0.5μm以下に形成されている。
請求項（抜粋）：
周面に複数輪の環状溝を有する支持軸とその一端に取付部とを備えたディスク状基板用支持具であって、前記環状溝を画成する溝壁部は周方向の複数の位置に両側の環状溝に連通する溝連結空隙を有していることを特徴とするディスク状基板用支持具。
IPC (5件)：
C23C 18/31
, C23C 14/50
, C23C 16/44
, C23F 1/08 102
, G11B 5/84
