特許

J-GLOBAL ID：200903036703480179

2周波レーザ光源の波長測定装置

発明者： 上田 守正 ,  胡 尚弥 ,  沼田 旭
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-202993
公開番号（公開出願番号）：特開平10-030964
出願日： 1996年07月12日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】【課題】 2周波レーザ光源の波長評価において、1系統光学系を使用して従来の1波分の測定時間で2波の測定評価を行い、さらに2波相互の波長の差の変化を評価することもできる波長評価方法を提供する。【解決手段】 基準レーザ光源から出射される基準光と被測定レーザ光源から出射される被測定光とで干渉を生じさせ、そのうなり周波数を検出する光学系において、光学系内に設けた偏光角変換手段により、被測定光の偏光角を周期的に切り替え、前記被測定レーザ光源から出射される互いに偏光角の異なる複数の被測定光のそれぞれが前記基準光と交互に干渉するように構成する。

請求項（抜粋）：

基準レーザ光源から出射される基準光と被測定レーザ光源から出射される被測定光とで干渉を生じさせ、そのうなり周波数を検出する光学系において、光学系内に設けられた偏光角変換手段が偏光角を変化させる光学素子の位置若しくは姿勢を周期的に切り替える機構を備えることにより、前記被測定レーザ光源から出射される互いに偏光角の異なる複数の被測定光のそれぞれが前記基準光と交互に干渉するように構成されることを特徴とするレーザ光源の波長測定装置。