露光装置、露光装置システムおよびデバイス製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143282
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331921
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】気圧等の測定手段が異常値を示した場合に、その異常値が測定手段の故障によるものである場合を区別し、さらには装置の他の部分の故障である場合を区別できるようにする。また、異常値が測定手段の故障によるものである場合でも、装置の動作を続行できるようにする。【解決手段】装置における所定の測定対象についての測定手段と、この測定結果に基づいて装置が異常な状態の下で動作するのを防止するようにした露光装置53において、他の装置52、53における測定結果をも参照して装置の異常な状態での動作を防止する。さらにかかる露光装置と管理装置とでコンピュータネットワークを構成した露光装置システムにおいて、管理装置52は、各露光装置53に対して所定の計測対象についての計測を指示し、これに応じて計測された各露光装置における計測値を受信して登録する。管理装置は各露光装置から計測対象について計測値の問い合せがあったときは、これに応じて、登録してある計測値のうちの最新のものをその露光装置に送信する。

請求項（抜粋）：

装置における所定の測定対象について測定を行なう測定手段と、この測定結果に基づいて装置が異常な状態の下で動作するのを防止する異常動作防止手段とを備えた露光装置において、前記異常動作防止手段は、前記測定対象についての他の装置における測定結果をも参照して前記装置の異常な状態での動作を防止するものであることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 502 G , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 516 F

Fターム (11件)：

5F046AA22 , 5F046BA03 , 5F046DA04 , 5F046DA26 , 5F046DA27 , 5F046DA30 , 5F046DB02 , 5F046DB03 , 5F046DB10 , 5F046DB14 , 5F046DD02

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