特許

J-GLOBAL ID：200903036738242530

レーザ加工装置およびレーザ加工方法

発明者： 牛田 宏志 ,  堀場 浩行
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-317331
公開番号（公開出願番号）：特開2002-120079
出願日： 2000年10月18日
公開日（公表日）： 2002年04月23日
要約：

【要約】【課題】 レーザ光の照射位置と被加工物のセット位置との間の相対位置合わせを行うことで、精度の高いレーザ加工を可能にする。【解決手段】 被加工物にレーザ光を照射するとともに、そのレーザ光の光軸と同軸上にて、レーザ光の照射痕の画像および被加工物のセット位置の画像を読み取る画像撮像手段2と、レーザ光の照射痕の画像から特定されるレーザ加工位置の座標値を記憶しておくとともに、そのレーザ加工位置の座標値と、被加工物のセット位置の画像から特定される当該被加工物の被加工位置の座標値とを比較して、互いのズレ量を認識するズレ量認識手段5と、互いのズレ量に応じてレーザ光の照射位置を移動させる照射位置補正手段3とを備えて、レーザ加工装置1を構成する。

請求項（抜粋）：

被加工物にレーザ光を照射して当該被加工物を加工するレーザ照射手段と、前記レーザ照射手段が照射するレーザ光の光軸と同軸上に配設され、当該レーザ照射手段によるレーザ光の照射痕の画像および当該レーザ照射手段によって加工すべき被加工物のセット位置の画像を読み取る画像撮像手段と、前記画像撮像手段が読み取ったレーザ光の照射痕の画像から特定されるレーザ加工位置の座標値を記憶しておくレーザ位置記憶手段と、前記画像撮像手段が読み取った被加工物のセット位置の画像から特定される当該被加工物の被加工位置の座標値を、前記レーザ位置記憶手段に記憶されたレーザ加工位置の座標値と比較して、そのズレ量を認識するズレ量認識手段と、前記ズレ量認識手段が認識したズレ量に応じて前記レーザ照射手段によるレーザ光の照射位置を移動させる照射位置補正手段とを備えることを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (2件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/04

FI (3件)：

B23K 26/00 P ,  B23K 26/00 H ,  B23K 26/04 A

Fターム (7件)：

4E068CA09 ,  4E068CA17 ,  4E068CB01 ,  4E068CC02 ,  4E068DA09 ,  4E068DA14 ,  4E068DB01