特許

J-GLOBAL ID：200903036744281466

窒化物上の酸化物をエッチングするための選択性の改良

発明者： ジェフリー マークス ,  ケニス エス コリンズ ,  チャン ロン ヤン ,  ディヴィッド ダブリュー グローチェル ,  ピーター アール ケズウィック
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341780
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112171
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】 窒化物を不活性化するポリマーを生成させて、高い選択性をもって窒化物上の酸化物層をエッチングする方法を提供することにある。【構成】 炭素及びフッ素含有ガスから誘導され、且つフッ素に対するスカベンジャーに接触したプラズマ中でエッチングして、炭素を多く含んだ不活性化炭素-フッ素ポリマーを窒化物上に生成させることを特徴とする選択性の高い窒化物上の酸化物層のエッチング方法。

請求項（抜粋）：

炭素及びフッ素含有ガスから誘導され、且つフッ素に対するスカベンジャーに接触させたプラズマ中でエッチングして、炭素を多く含む不活性化炭素-フッ素ポリマーを窒化物上に生成させることを含む選択性の高い窒化物上の酸化物層のエッチング方法。

IPC (4件)：

H01L 21/302 ,  C23C 16/30 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00