特許
J-GLOBAL ID：200903036746801386
空間光変調器およびその製造方法、並びにその空間光変調器を用いた電子機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-043603
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236762
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【解決手段】 マトリクス状に配列された複数の微小ミラー30を有した基板上に所定の間隔を隔てて微小ミラー30を駆動するための回路素子を備えたSi基板10が存在し、Si基板10はガラス基板40と接合されて、微小ミラー30とSi基板10は所定の配線がなされている。【効果】 微小ミラーの直上に駆動回路とSRAMが存在するため、配線を非常に簡略化でき、階調表示が容易である。また、微小ミラーとSi駆動回路を別々に製造し最後に接合するため、歩留まりも非常に良好となる。また、制御回路と作像部が完全に分離して製造できるため、莫大な製造設備が必要な制御回路を有したSiウェハーの製造を外部企業に依頼して作製する事ができ、製造設備にかかるコストを大幅に抑える事が出来る。
請求項（抜粋）：
一ライン状又はマトリクス状に配列された複数の微小ミラーと、該微小ミラーを一方向にて連結するトーションバーとを有し、該トーションバーは、ガラス基板下面の立ち上げ部に配置され、各々の微小ミラーはガラス基板支持部を介して直下にあるSi回路基板と配線されていて、該微小ミラーの直下に所定の間隔を隔てて微小ミラーを駆動するための回路素子を備えたSi基板が存在していることを特徴とする空間光変調器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 E
, H01L 21/306 A
