特許
J-GLOBAL ID：200903036749213795
原版および原版保持装置ならびにこれを用いた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-205997
公開番号（公開出願番号）：特開平8-050351
出願日： 1994年08月08日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：
【要約】【目的】 マスクを位置決めするクランプ力を小さくする。【構成】 マスク10のマスクフレーム2を第1ないし第3のボールB1 〜B3に当接し、これに向かって作用するクランプ力F1 〜F3 によってクランプすることでマスク10の位置決めを行なう。第1、第2のボールB1 ,B2 はそれぞれマスクフレーム2の裏面の円錐溝2aとV形溝2bに当接され、マスク10の水平面内の位置決めを行なう。円錐溝2aの第1の円錐部分(深い部分)21のクランプ力F1 に対する傾斜角を第2の円錐部分(浅い部分)22より大きくすることで、第1、第2のボールB1 ,B2 に作用するクランプ力F1 ,F2 を両方とも小さくする。
請求項（抜粋）：
基板と、これと一体である平板状の支持部材を有し、該支持部材がその表面に垂直なクランプ力によってそれぞれクランプされる円錐溝とV形溝と平坦部を備えている原版であって、前記円錐溝の斜面の前記クランプ力に対する傾斜角が、前記円錐溝の浅い部分で小さく、深い部分で大きいことを特徴とする原版。
IPC (2件)：
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