特許
J-GLOBAL ID：200903036750166954
シリコン成形体用前駆体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-336516
公開番号（公開出願番号）：特開平9-175808
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：
【要約】【課題】 幅の小さい結晶粒の占める面積割合と、幅の大きい結晶粒の占める面積割合の両方を制限することにより、切削が容易でなおかつ耐熱強度の優れた多結晶シリコン材料を提供すること。【解決手段】 ある断面において、幅が200μm以上の結晶粒の占める面積が30%以下であり且つ幅が5μm以下の結晶粒の占める面積が50%以下である多結晶シリコン成形体用前駆体。
請求項（抜粋）：
ある断面において、幅が200μm以上である結晶粒の占める面積が30%以下であり且つ幅が5μm以下である結晶粒の占める面積が、50%以下であることを特徴とする多結晶シリコン成形体用前駆体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 33/02 E
, C30B 29/06 D
