特許
J-GLOBAL ID:200903036755846678

表面欠陥検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 河野 登夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-194995
公開番号(公開出願番号):特開平7-049314
出願日: 1993年08月05日
公開日(公表日): 1995年02月21日
要約:
【要約】【目的】 長尺板材の表面欠陥の種別, 等級を高精度に判定する、オンラインに適用可能な表面欠陥検査装置を提供する。【構成】 鋼板1の表面を投光器2aにより幅方向に光学的に走査し、表面からの反射光を受光器2bにて受光し、その検出信号を弁別回路3にて欠陥部と地肌健全部とを弁別するためのレベルで2値化し、欠陥部を示す2値化信号をヒストグラム作成回路4にて鋼板1の所定長さ毎及び所定幅毎に加算してそれぞれのヒストグラムを作成し、特徴量抽出回路5により各ヒストグラムから特徴量を抽出し、判定回路6においてそれらの特徴量を総合的に判断して、鋼板1の表面欠陥の種別, 等級を判定する。
請求項(抜粋):
走行する被検査材の表面を幅方向に光学的に走査し、その表面からの反射光に基づいて前記被検査材の表面欠陥を検査する装置において、前記被検査材の表面からの反射光を受光する受光手段と、該受光手段にて得られる前記被検査材の幅方向毎の検出信号を所定の2値化レベルで弁別する弁別手段と、得られた2値化信号を前記被検査材の所定長さ毎及び所定幅毎に加算してそれぞれのヒストグラムを作成するヒストグラム作成手段と、作成されたヒストグラムに基づいて前記被検査材の表面欠陥の特徴量を抽出する特徴量抽出手段とを備えることを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/89 ,  G06T 7/00 ,  B23K 26/00

前のページに戻る