特許
J-GLOBAL ID：200903036757965992
光変調素子及び光変調素子アレイ、並びに画像形成装置及び平面表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-006371
公開番号（公開出願番号）：特開2004-240414
出願日： 2004年01月14日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：
【課題】 作動電圧の低電圧化と、光変調素子のON,OFFの切り換え速度の高速化とを両立することのできる光変調素子及び光変調素子アレイ、並びに画像形成装置及び平面表示装置を提供する。【解決手段】 電極層4を有する支持基板6と、少なくとも電極層11を有すると共に支持基板6に向かって撓み変形可能に支持基板6上に所定の離間間隔で対向配置される可動薄膜9とを備え、支持基板6の電極層4と可動薄膜9の電極層11との間に所定の駆動電圧を印加して、両電極層4,11間に作用する静電気力により可動薄膜9を支持基板6側に撓ませることで光学的特性を変化させ、入射光に対する光変調を行う光変調素子に対して、可動薄膜9の支持基板6側とは反対側に、駆動電圧の印加によって可動薄膜9を吸引する静電気力を作用させる復帰用電極23を設けた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電極層を有する支持基板と、少なくとも電極層を有すると共に前記支持基板に向かって撓み変形可能に前記支持基板上に所定の離間間隔で対向配置される可動薄膜とを備え、前記支持基板の電極層と前記可動薄膜の電極層との間に所定の駆動電圧を印加して、両電極層間に作用する静電気力により前記可動薄膜を前記支持基板側に撓ませることで入射光に対する素子の光学特性を変化させ、入射光に対する光変調を行う光変調素子であって、
前記可動薄膜の前記支持基板側とは反対側に、駆動電圧の印加によって前記可動薄膜を吸引する静電気力を作用させる復帰用電極を設けたことを特徴とする光変調素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B26/08 A
, G03B21/00 D
2H041AA14
, 2H041AA16
, 2H041AB26
, 2H041AB40
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 2K103BB01
, 2K103CA25
