特許
J-GLOBAL ID：200903036759863887
スペックル干渉法変形測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院機械技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-266633
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094434
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 高い測定精度を保ったままで、しかも測定物体の変形がミリメートルの単位に及んでも測定を可能とする電子的スペックルパタン干渉法を提案すること。【構成】 スペックル干渉計によって形成される測定物8から反射されたレーザ光と測定物を経由しないレーザ光とを重ね合わせたスペックル画像を所定の時間間隔で複数形成して記憶装置に記憶させる。記録されたスペックル画像の中の二枚を取りだして、計算機によって画像の差分をとる。すると、その二枚の画像が記録された時間に測定物8が起こした変形が干渉縞模様として見られる。その干渉縞模様は変形分布を等高線として表わしており、一本の干渉縞は用いたレーザ光の波長の半分の長さに相当する。これを次々とくり返して、それぞれの変形を加算することによって、通常のスペックル干渉法では測定できない大きな変形やスピードの速い変形の分布でも、非接触で、連続に、高精度に測定することが可能となる。
請求項（抜粋）：
スペックル干渉計によって形成される測定物から反射されたレーザ光と前記測定物を経由しないレーザ光とを重ね合わせたスペックル画像を所定の時間間隔で複数形成して記憶装置に記憶させ、前記複数のスペックル画像のうちの2枚のスペックル画像の差分から2枚のスペックル画像の形成時の時間間隔における前記測定物の変形を求めることを特徴とするスペックル干渉法変形測定方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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