気相成長装置及び結晶成長方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-347202
公開番号（公開出願番号）：特開平10-182282
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】【課題】高温成長材料を高品質で再現性よく、大面積で成長できる気相成長装置及びその結晶成長方法を課題とする。【解決手段】原料ガス14を基板13に吹き付ける気相成長装置において、原料ガス14の吹き出し口12aの周囲に原料ガス以外のガス15の吹き出し口を有し、上記原料ガスを基板周囲或いは周囲を通過してガス排気16する。

請求項（抜粋）：

原料ガスを基板に吹き付ける気相成長装置において、原料ガスの吹き出し口の周囲に原料ガス以外のガスの吹き出し口を有し、上記原料ガスを基板周囲或いは周囲を通過して排気する手段を有することを特徴とする気相成長装置。

IPC (5件)：

C30B 25/14 , C23C 16/44 , C30B 29/40 502 , C30B 29/40 , H01L 21/205

FI (5件)：

C30B 25/14 , C23C 16/44 D , C30B 29/40 502 D , C30B 29/40 502 F , H01L 21/205

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭62-037374
特開平1-128518
特開平4-228496

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審査官引用 (3件)

特開昭62-037374
特開平1-128518
特開平4-228496

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