特許

J-GLOBAL ID：200903036768634750

走査ミラー

発明者： 片白 雅浩
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-072851
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264677
出願日： 2000年03月15日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】繰り返し変形を受けるばね部を通る配線が断線し難く、しかもその消費電力が少ない走査ミラーを提供する。【解決手段】走査ミラーの主要構造体は、可動部102と、これを揺動可能に支持する一対のばね部104a,104bと、これらが固定された枠部106とを備えている。可動部102は、おもて面に、例えばアルミニュウム配線から成る駆動コイル112と検出コイル122とを備えている。駆動コイル112の両端は、ばね部104aを延びる一対の配線114を介して、枠部106に設けられた一対のアルミニュウム配線116に接続されている。また、検出コイル122の両端は、ばね部104bを延びる一対の配線124を介して、枠部106に設けられた一対のアルミニュウム配線126に接続されている。配線114と配線124は共に例えば厚さ約2μmのTiSi層から成る。

請求項（抜粋）：

ミラーが設けられた可動部と、可動部を揺動可能に支持するばね部と、ばね部が固定された支持部と、可動部に設けられた駆動コイルと、駆動コイルに電気的に接続され、ばね部を通り、支持部まで延びている配線と、可動部の近くに配置された永久磁石とを備えており、可動部とばね部と支持部はSi基板から形成され、ばね部を通る配線は高融点金属シリサイドで形成されている、走査ミラー

IPC (3件)：

G02B 26/10 104 ,  B81B 7/02 ,  G02B 26/08

FI (3件)：

G02B 26/10 104 Z ,  B81B 7/02 ,  G02B 26/08 E

Fターム (10件)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC05 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB72 ,  2H045AB73 ,  2H045DA41