特許

J-GLOBAL ID：200903036769940707

基板の搬送エラー復帰処理方法

発明者： 安川 浩司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 飯塚 雄二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-181309
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012702
出願日： 1996年06月21日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 デバイス製造ライン内での基板の搬送エラー発生時に、当該基板の復帰処理を容易に行い得る方法を提供すること。【解決手段】 デバイス製造ライン内での基板の処理状況を常時監視し、搬送エラーが発生したときに、監視している処理状況に基づいて、デバイス製造ライン内に存在する全ての基板について、各々の基板に対応する搬出元格納部を判別する。そして、全ての基板を判別された対応する搬出元格納部に搬送した後に、搬出元格納部に戻された基板の処理を再開する。

請求項（抜粋）：

複数のデバイス製造装置を連結して構成されるデバイス製造ライン内で、搬出元格納部から搬出された複数の基板を連続的に処理し、処理後の前記基板を搬入先格納部に搬入する工程の中で、前記基板の搬送エラーが生じた際の当該基板の復帰処理方法において、前記デバイス製造ライン内での前記基板の処理状況を常時監視する第1工程と;前記搬送エラーが発生したときに、前記監視している処理状況に基づいて、前記デバイス製造ライン内に存在する全ての基板について、各々の基板が搬出された前記搬出元格納部を判別する第2工程と;前記全ての基板を前記判別された搬出元格納部に搬送する第3工程と;前記第3工程の後に、前記搬出元格納部に搬送された前記基板の処理を再開する第4工程とを含むことを特徴とする基板の搬送エラー復帰処理方法。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/30 502 J