特許
J-GLOBAL ID：200903036777940341
感光性樹脂組成物、それを用いた樹脂膜の製造法及び物品
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-253226
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095431
出願日： 1997年09月18日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 低誘電、低吸湿、優れた感光特性及び透明性を有する感光性樹脂組成物、低誘電、低吸湿等の膜特性に優れ、形状の良好なパターンを形成できる樹脂膜の製造法並びに低誘電、低吸湿等の膜特性に優れる表面保護膜、パッシベーション膜、層間絶縁膜等の樹脂膜を有する半導体装置、薄膜多層配線板等の電子部品などの物品を提供する。【解決手段】 (A)光反応基を有するフッ素樹脂と、(B)光重合開始剤及びアジド化合物から選ばれる少なくとも一種の化合物を含有してなる感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物から得られたフィルムに、フォトマスクを介して活性光線の照射を行ったのち、現像液にて未露光部分を除去することを特徴とする樹脂膜の製造法並びにこの感光性樹脂組成物を用いて形成された樹脂膜を有してなる物品。
請求項（抜粋）：
(A)光反応基を有するフッ素樹脂と、(B)光重合開始剤及びアジド化合物から選ばれる少なくとも一種の化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 505
, G03F 7/008
, G03F 7/028
, H01L 21/027
, H01L 21/312
G03F 7/038 505
, G03F 7/008
, G03F 7/028
, H01L 21/312 D
, H01L 21/30 502 R
