特許
J-GLOBAL ID：200903036781220132

マイクロミラースキャナーとその制御方法

発明者：
竹村 理

竹村 理 について

, 
下田 亨志

下田 亨志 について


出願人/特許権者：
住友精密工業株式会社

住友精密工業株式会社 について


代理人 (2件)： 池条 重信 ,  河野 広明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-368257
公開番号（公開出願番号）：特開2005-208608
出願日： 2004年12月20日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：
【課題】 静電駆動型マイクロミラースキャナーを用いた画像描画装置を構成して多様なスキャニング動作を実施するため、特に、複数枚のマイクロミラーの揺動を制御してかかるスキャニング動作を実施する際、その静電力を確実に制御でき且つ所要動作を効率よく実施できる構成の提供。【解決手段】 複数のマイクロミラーをそれぞれ静電駆動させるため、静電駆動用の電極間に電圧を印加する際、用途や目的の揺動動作に応じて、あるいは温度補償のために、所要パターンに変形させた電圧波形あるいは選択した所要パターンの電圧波形を印加することで、キラーの揺動速度、揺動パターンを容易に設定でき、その停止、加速、方向変換などの揺動運動を制御することが可能となる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板に形成したサスペンションビームで揺動支持可能に構成したマイクロミラーを複数個配置するか、基板に該マイクロミラーを複数枚形成した静電駆動型マイクロミラースキャナーに対して、各ミラーを揺動駆動するために静電駆動用の電極間に電圧を印加する際、その印加する電圧波形を、目的の揺動動作に応じた所要パターンに変形するか又は目的の揺動動作に応じた所要パターンを選択して印加するかあるいは前記変形と選択パターンの両方を印加し、各ミラーの揺動運動を制御するマイクロミラースキャナーの制御方法。
IPC (3件)：
G02B26/10 ,  H04N1/036 ,  H04N1/113
FI (5件)：
G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 B ,  G02B26/10 C ,  H04N1/036 Z ,  H04N1/04 104Z
Fターム (38件)：
2H045AB06 ,  2H045AB13 ,  2H045AB23 ,  2H045AB34 ,  2H045AB44 ,  2H045AB54 ,  2H045AB73 ,  2H045BA13 ,  2H045BA22 ,  2H045BA32 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DA02 ,  5C051DB02 ,  5C051DB04 ,  5C051DB06 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07 ,  5C051DE26 ,  5C051FA01 ,  5C072AA03 ,  5C072BA05 ,  5C072BA13 ,  5C072DA05 ,  5C072DA20 ,  5C072HA02 ,  5C072HA06 ,  5C072HA09 ,  5C072HA14 ,  5C072HB04 ,  5C072HB08 ,  5C072HB15 ,  5C072HB16 ,  5C072QA14 ,  5C072XA01 ,  5C072XA05
引用特許：
出願人引用 (5件)
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