特許
J-GLOBAL ID：200903036782710672
洗浄脱液装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇佐見 忠男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-107518
公開番号（公開出願番号）：特開平7-227580
出願日： 1994年04月21日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】本発明は被処理物の洗浄と洗浄液の脱液とを効率良く行なうことを目的とする。【構成】洗浄脱液装置1において、外容器2内に駆動源6によって回転される回転台3を取付け、該回転台3上にワークの載置台4を回転自在に取付け、該載置台4を公転および自転せしめる。
請求項（抜粋）：
外容器と、該外容器内に回転可能に取付けられた回転台と、該回転台上に回転自在に取付けられたワークの載置台と、該回転台を回転させる駆動源とからなることを特徴とする洗浄脱液装置
IPC (2件)：
引用特許：
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