特許
J-GLOBAL ID:200903036786873541

形状計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤田 考晴 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-245178
公開番号(公開出願番号):特開2003-057018
出願日: 2001年08月13日
公開日(公表日): 2003年02月26日
要約:
【要約】【課題】 高温環境下であっても筒状構造体の内壁形状の計測を安定して行うことができる形状計測装置を提供する。【解決手段】 形状計測装置Sは、筒状構造体C内部に軸線Oに沿って配置された軸部1と、軸線Oまわりに回転可能に設けられた回転移動装置10と、回転移動装置10を軸線O方向に移動可能に支持する軸移動装置20と、回転移動装置10に取り付けられ、筒状構造体Cの内壁Kとの距離を光学的に計測可能なレーザ変位計30と、筒状構造体C内部においてレーザ変位計30を収容するように軸部1と同軸状に配置され、レーザ変位計30に基づく光束を透過可能な透過窓31を有する筒状部材2と、筒状部材2の第1流路32に冷却水を供給する冷却装置33とを備えている。
請求項(抜粋):
筒状構造体の内壁形状を計測する形状計測装置において、前記筒状構造体内部に、該筒状構造体の軸線に沿って配置された軸部と、前記軸線まわりに回転可能に設けられた回転移動装置と、前記回転移動装置を前記軸線方向に移動可能に支持する軸移動装置と、前記回転移動装置に取り付けられ、前記内壁との距離を光学的に計測可能な光学センサと、前記筒状構造体内部において前記光学センサを収容するように前記軸部と同軸状に配置され、前記光学センサに基づく光束を透過可能な透過窓を有する筒状部材と、前記筒状部材内部を冷却する冷却装置とを備えることを特徴とする形状計測装置。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  G01B 11/00
FI (2件):
G01B 11/00 B ,  G01B 11/24 B
Fターム (11件):
2F065AA06 ,  2F065AA55 ,  2F065AA60 ,  2F065BB08 ,  2F065CC00 ,  2F065DD00 ,  2F065FF11 ,  2F065MM07 ,  2F065MM08 ,  2F065PP01 ,  2F065PP05

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