特許
J-GLOBAL ID：200903036791747244
レーザ加工法、構造物および光学素子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
角田 衛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-016020
公開番号（公開出願番号）：特開2005-205464
出願日： 2004年01月23日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：
【課題】レーザ光の走査機構を用いず、従来の集光レンズを備える光学系により被加工物体に照射したレーザ光によって、二次元形状または三次元形状の異質相を容易にかつ効率よく形成するレーザ加工法を提供する。【解決手段】レーザ装置から発振されたレーザ光を回折光学素子、集光レンズを経て、被加工物体に集光させて、物体中に異質相を形成する加工法であって、発振されたレーザ光が半値全幅130nm以内スペクトル幅をもつパルスレーザ光であり、さらに回折光学素子は、集光レンズ透過後のその回折光の集光点が被加工物体において少ない色収差で連続的に繋がっているような格子構造を有する回折光学素子であるレーザ加工法とする。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
レーザ装置から発振されたレーザ光を回折光学素子に入射し、回折光学素子により回折されたレーザ光を集光レンズにより集光し、集光されたレーザ光を被加工物体の表面または内部に集光点を有するように照射して、被加工物体の集光点の部位における材質を変化させてことにより、被加工物体に二次元的または三次元的形状の異質相を形成するレーザ加工法において、
レーザ装置が、発振波長がスペクトル幅をもつパルスレーザ装置の場合には、パルスレーザ装置から発振されたレーザ光スペクトルの半値全幅が130nm以内であり、
レーザ装置が単色光発振のCWレーザ装置またはパルスレーザ装置の場合には、少なくとも2つのレーザ装置が用いられ、レーザ装置から発振されたそれぞれのレーザ光のうち最長波長と最短波長との差が130nm以内であり、
また回折光学素子は、回折光学素子に入射したのち集光レンズにより集光されたレーザ光の集光点が、被加工物体において連続的、または離散的な異質相を形成する、格子構造を有する回折光学素子である、
ことを特徴とするレーザ加工法。
IPC (3件)：
B23K26/06
, G02B5/18
, G02B6/13
B23K26/06 A
, B23K26/06 E
, G02B5/18
, G02B6/12 M
2H047KA04
, 2H047KA12
, 2H047KB04
, 2H047LA12
, 2H047PA22
, 2H047QA04
, 2H049AA02
, 2H049AA12
, 2H049AA31
, 2H049AA33
, 2H049AA50
, 2H049AA55
, 2H049AA64
, 4E068CA01
, 4E068CA03
, 4E068CA11
, 4E068CB08
, 4E068CD02
, 4E068CD05
, 4E068CD08
, 4E068CK01
, 4E068DB13
