特許

J-GLOBAL ID：200903036793652879

細線状結晶製造装置及びこの装置を用いて細線状結晶を製造する方法

発明者： 福田 承生 ,  阪口 新 ,  山田 透 ,  上岡 正嗣
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-035805
公開番号（公開出願番号）：特開平8-231299
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 高品位の細線状結晶を安定かつ高効率で得る。【構成】 坩堝と種保持具と前記坩堝および/又は種保持具が上下方向に可動な移動機構と、該坩堝を加熱する手段とを具備する細線状結晶製造装置において、前記坩堝および/又は種保持具の移動が、0.5mm/min 以上の速度で、その速度の設定値の1%以内の精度で行うことのできることを特徴とする細線状結晶製造装置。及びこの装置を用いて細線状結晶を製造する方法。

請求項（抜粋）：

坩堝と、種保持具と、前記坩堝および/又は種保持具が上下方向に可動な移動機構と、坩堝を加熱する手段とを具備する細線状結晶製造装置において、前記坩堝および/又は種保持具の移動が、 0.5mm/min以上の速度で、その速度の設定値の1%以内の精度で行うことのできることを特徴とする細線状結晶製造装置。